质量流量控制器不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
使用质量流量控制器有四怕:
怕粉尘，若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器，造成测量误差，要求在进气口前加装过滤器；
第二怕液体和油污进入MFC，会造成失控，如果MFC的出口接有液体罐，需要在MFC出口加上单向阀，防止液体回流；
第三怕使用潮湿的腐蚀性气体，潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈，造成MFC通道损坏，因此要求在使用腐蚀性气体前，要对气体和MFC管路系统进行干燥处理；
第四怕在使用强腐蚀性、易燃易爆、有毒等危害性气体时不按安全规则操作，有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。
正确使用，安全操作，对每个用户都是重要的。